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對材料表面保護、裝飾形成的覆蓋層,如涂層、鍍層、敷層、貼層、化學(xué)生成膜等,在
有關(guān)國家和標(biāo)準(zhǔn)中稱為覆層(coating)。
覆層厚度測量已成為加工工業(yè)、表面工程質(zhì)量檢測的重要一環(huán),是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)等質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
的*手段。為使產(chǎn)品化,我國出口商品和涉外項目中,對覆層厚度有了明確的要求。
涂層厚度儀的測量方法主要有:楔切法、光截法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射
線熒光法、β射線反向散射法、電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有
損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。
X射線和β射線法是無接觸無損測量,但裝置復(fù)雜昂貴,測量范圍較小。因有放射源,使
用者必須遵守射線防護規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層
和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。
隨著技術(shù)的日益進步,特別是近年來引入微機技術(shù)后,采用磁性法和渦流法的測厚儀向微
型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達(dá)0.1微米,精度可達(dá)
到1%,有了大幅度的提高。它適用范圍廣,量程寬、操作簡便且價廉,是工業(yè)和科研使用zui廣
泛的測厚儀器。